Aluminiumlegierte Metallwaferkassette zur Herstellung und Verarbeitung von Wafern

8 Zoll Metall-Schwarz 25 Schlitz Wafer-Kassette

Aluminiumlegierte Metallwaferkassette zur Herstellung und Verarbeitung von Wafern

Bei der Reinigung von Halbleiter-Silizium-Wafern wird eine Silizium-Wafer-Träger-Kassette verwendet, um sie zu transportieren, um die Silizium-Wafer nicht zu verschmutzen.

Die aktuellen Größen sind 6 Zoll 25 Stück, 4 Zoll 25 Stück, 2 Zoll 25 Stück Reinigung Metallwaferkassette, Einzelstrahl- und Doppelstrahlgriffe, und es gibt viele Arten von Waferkassette.

Warum wählen wir eine 8-Zoll-Kassette mit 25 Schlitzen?

(1) Hohe Temperatur und chemische Beständigkeit:
Die Kassetten bestehen in der Regel aus korrosionsbeständigem Edelstahl oder hochwertigen Materialien wie PEEK.Es kann hohen Temperaturen von mehr als 200 °C standhalten und ist resistent gegen eine Vielzahl von ätzenden Chemikalien.

(2) Oberflächenveredelung:
Die Innenfläche der Kassette ist präzise geschliffen und bis auf Spiegelhöhe poliert, wodurch die Kontamination der Waferoberfläche minimiert wird.

(3) Benutzerfreundliches Design:
Die Kassette ist mit zusätzlichen Griffen und Positionsschlitzen ausgestattet, um die manuelle Bedienung durch die Arbeiter und die Befestigung durch automatisierte Geräte zu erleichtern.

Technische Parameter:

Materialqualität:

1. in der Regel aus Edelstahl (wie 316L) oder Aluminiumlegierung.

2Die Oberfläche ist präzise bearbeitet und poliert, um eine Spiegelreinigung zu erreichen.

Mechanische Eigenschaften:

1. hohe Festigkeit, die großen Belastungen und Schwingungen standhält.

2. Hochtemperaturbeständigkeit, kann den Wärmebehandlungsprozess über 200°C unterstützen.

3. Korrosionsbeständigkeit, Resistenz gegen Säuren und Alkalien und andere chemische Reagenzien

Reinheit:

1. Reinheit der Klasse 1
2Oberflächenrauheit Ra ≤ 0,3 μm
3Partikelkontamination ≤ 0,5 μm/cm2.

Eigenschaften:

1Auswahl einer hochwertigen Aluminiumlegierung, verschleißfest, korrosionsbeständig, hitzebeständig und langlebig.

2. Box Oberflächen Oxidationsbehandlung, glatte Oberfläche der Rille ohne Burrs, und nicht das Material stecken.

3. Hochtemperaturbeständigkeit 200-400 °C, Hochtemperaturbacken ohne Verformung

4- Das entspricht direkt dem Standard-Plastikkorb-Transfer-Wafer.

5Standardgröße: 4, 6, 8, 12 Zoll.

Verpackung:

Die 8' Metallwaferkassette ist in einem robusten Karton verpackt, um ihren Schutz während des Transports zu gewährleisten.Jede Kassette ist einzeln in eine Blasenfolie eingewickelt, um Schäden während des Transports zu vermeiden.

Die Verpackung ist mit dem Produktnamen versehen und umfasst eine Verpackungsbestätigung zur einfachen Identifizierung.